低压化学气相沉积室SolidWorks设计

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三维建模软件：SolidWorks

一款低压化学气相沉积室的3D模型，有stp等格式的图纸。LPCVD--Low Pressure Chemical Vapor Deposition低压力化学气相沉积法广泛用于氧化硅、氮化物、多晶硅沉积,过程在管炉中执行，要求也相当高的温度。