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硅材料单晶硅多晶硅产品清洗超纯水系统
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  • 更新时间:2021-10-10
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    硅材料单晶硅多晶硅产品清洗超纯水系统
    目前选工艺是全膜法制取超纯水,全膜法超纯水设备是指采用盘滤+UF+RO+EDI+SMB组成的工艺设备,即预处理采用盘滤过滤器+超滤工艺,除盐采用二级反渗透+EDI工艺使产水电阻率达到15MΩ.cm以上,终端供水采用变频供水泵+二级精精混床+终端超滤膜使产水电阻率达到18.2MΩ.cm,经处理后的产水水质达到《电子级水GB/T11446.1-1997Ⅰ级》水质标准。

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