高真空自动排气台系统

本资料包含doc文件1个，下载需要1积分

高真空自动排气台系统概述
NSC-001自动排气台系统控制器，是为北京纳诺帕技术中心研制的高真空自动排气台而设计制造的真空系统控制单元。通过使用OMRON的CPM1A型PLC可编程序控制器，对高真空排气台的真空排气系统及加热温度控制进行手动、自动的操作控制。
操作前的准备工作
依次闭合真空控制单元、管道加热单元、烘箱加热单元、电磁铁-灯控制单元等电控单元的供电断路器及各系统的电源开关，保证各部分可以正常工作。
依次检查压缩空气、N2气、O2气、H2气等气体的压力及供给是否正常。保证各路气体的正常供给状态。
按下系统控制单元的电源开关，使真空系统上电处于工作状态。按照时间控制器的使用说明书，对时间控制器根据工艺要求进行自动控制过程中时间参数的设定。
参照温控表SR1的使用说明书，设置好真空系统管路加热的温度设定值。
根据工艺要求，设定好程控FP93温控表的四个温度段的温度参数值。
根据工艺要求，参照真空计使用说明书，依次设定好 G1-1.2×10-1Torr、 G2-1.0×10-2Torr、G3-1.0×10-6Torr、G4-1.0×10-7Torr、 G5五个真空系统控制点的真空度设定参数值。
按下真空系统控制单元左下角的电源按键开关，开关灯点亮。系统上电工作。
工作方式分为手动和自动两种方式：
手动工作方式