MS-6BC型精密双面抛光机的研制
- 文件大小:339.43KB
- 浏览次数:
- 发布时间:2012-05-20
文件介绍:
本资料包含pdf文件1个,下载需要1积分
光电子信息产业的快速发展,要求蓝宝石、单晶硅等材料高效率、超光滑表面加工,精密双面
抛光加工是得到这些材料超光滑表面的主要加工方法之-。本文介绍了新研制的MS-6BC型精密双面
抛光机,介绍了其结构及其特点,并论述了双面抛光加工的主要工艺因素和过程。最后通过试验验证了
MS--6BC型精密双面抛光机具有加工精度高,控制性能好的特点,适用于蓝宝石、单晶硅等人工晶片的超
精密加工。
文件列表
正在加载...请等待或刷新页面...
发表评论
更多..相关推荐
更多..最近更新
- 1高等级公路路基路面施工技术大汇总
- 2MT/T 1148-2011 架线电机车用自动停送电开关
- 3电力变压器控制柜三维模型SolidWorks设计
- 4建筑施工技术论文:关于建筑施工技术课程的教学设计
- 5NY/T 2994-2016 苜蓿草田主要虫害防治技术规程
- 6扣件式钢管模板支架设计施工操作规程(试行)
- 7智能化施工作业指导书
- 8第1章__公路公路工程试验检测
- 9紫金花园装修设计施工图
- 10WS/T 404.4-2018 临床常用生化检验项目参考区间 第4部分:血清总胆红素、直接胆红素
- 113D3S 高层模块简介
- 12河南工程(火电厂)房屋布置图CAD图纸
- 13GB/T 12883-1991 机床夹具零件及部件 鸡心卡头
- 14园林绿化工程投标文件
- 15MH/T 4032-2011 民用航空飞行校验技术要求 雷达