不拆卸灭弧室测量真空度的技术研究

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不拆卸灭弧室测量真空度的技术研究真空开关在 中 压 领 域 ( 6 kV ， 10 kV ， 35 kV )
的应用已有 30 多年的历史 ， 并还在快速增长 。 用
户担心真空灭弧室的真空度状况 ， 需要-种简单 、
定量 、 灵敏度高的测试仪器来检测灭弧室的真空
度 。 目前 ， 真空灭弧室真空度的测试方法主要有 :
工频耐压法
[ 1 ，2 ，3 ]
、磁控放电法
[ 4～7 ]
、持续电流开
断法
[ 4 ]
、 高频电流开断法
[ 8 ，9 ，12 ，13 ]
、 高频预击穿电
流法
[ 8 ]
、分子吸 附 时 间 法
[ 9 ]
、德 斯 拉 线 圈 法
[ 4 ]
、
绝缘电阻法
[ 4 ]
、 电弧电压法
[ 14 ]
等 。
2 常用测量真空度的方法
( 1) 工频耐压法 当气体压强为 10
- 3
Pa 或更
小时 ， 击穿电压几乎是与气体压强无关的恒值 。 当
压强高于 10
- 1
Pa 时 ， 随着灭弧室内压强的增大 ，
击穿电压迅速下降 。 基于此原理可判断灭弧室内的
压强是否满足系统绝缘要求 。 显然这种方法只能测
出严重漏气的灭弧室 ， 而对处于半真空 ( s emivac2
uum) 状态的灭弧室 ( 10
- 2
～2 Pa) ， 虽然击穿电压
没有降低到 28 kV 以下 ， 但真空管已经不合格 ( -
般来说 ， 真空管真空度的出厂标准为小于 10
- 3
Pa ，
对于使用中的灭弧室 ， 其标准可放宽到小于 10
- 2
Pa) 。 故仅使用工频耐压法检测真空度是不合理的