ST2253型数字式四探针测试仪技术参数
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- 发布时间:2013-02-21
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ST2253型数字式四探针测试仪技术参数ST2253 型数字式四探针电阻率/方阻测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量装置,它可以测量半导体材料的电阻率,测量半导体扩散层、半导体或金属或有机薄膜涂层的薄层电阻(亦称方阻)。换上特制的四探针测试夹具,还可以对金属导体的低、中值电阻进行测量。
仪器由主机、测试探头(可选配测试台)等部分组成,测试结果由主机数码管直接显示。也可通过USB端口连接PC机,由配套软件在PC机上操作,其数据可由软件显示、分析、保存和打印!
主机主要由精密恒流源,高分辨率 ADC、嵌入式单片机系统组成,轻触按键操作,自动/手动-体化。测试探头可采用高耐磨碳化钨探针制成,也可选择薄膜方阻专用测试探头。故适用范围广、定位准确、游移率孝寿命长。仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、测量简便、结构紧凑、使用方便等特点。
仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能的测试。特别适用于要求快速测量中低电阻率的诚。
三、基本技术参数
3.1测量范围
电阻率: 1×10-4~2×105Ω-cm。
方块电阻: 1×10-3~2×105Ω/□。
电 阻: 1×10-4~2×105Ω。
3.2可测半导体材料尺寸(SZT-C型测试台参数)
测试台方式:直 径: Φ15~180mm, 或矩形180mmX180mm以下,高度: ≤100mm。
手持探头方式:不限。
2.3测量方位:
轴向、径向均可
2.4.4 1/2 位数字电压表:
⑴量程: 200mV
⑵误差:±0.1%读数±2 字
2.5数控恒流源
⑴电流输出:直流电流 0~100mA 连续可调,由交流电源供电。
⑵量程:1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA
⑶误差:±0.5%读数±2 字
2.6四探针测试探头(ST2253-F01型探头)
⑴探针间距 1mm
(2)探针压力: 0~2kg 可调,最大压力约 2kg
(3)探针:碳化钨,Φ0.5mm
2.7.电源
输入: AC 220V±10% ,50Hz 功耗:<20W
2.8.外形尺寸:
主机 260mm(长)×210 mm(宽)×125mm(高)
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