一种双工位交换工作台的动力学与控制联合仿真
- 文件大小:288.48KB
- 浏览次数:
- 发布时间:2014-03-22
本资料包含pdf文件1个,下载需要1积分
针对一种IC制造装备中的双工位交换工作台系统的结构,建立其动力学模型。根据系统运动自由度与控制变量较多、运动轨迹较复杂的特点,依据动力学与控制系统分别建模的思想,在AD-AMS软件中建立其运动仿真模型,在Matlab/Sim-ulink中建立其运动控制系统,利用两者的软件接口实现双工位交换工作台系统的联合仿真。通过仿真分析,优化了系统的结构。 According to the structure of a duplex pallet changer which was used in an IC manufacturing equipment,the dynamic model can be built.As the system has the characteristics of high motion freedoms,multiple control variables and complex motion path,based on the thought of modeling respectively between dynamic and control system,by building the motion simulation model in ADAMS,the control model in Matlab/Simulink,the Co-simulation of the duplex pallet changer can be realized by using the software interface of the two.Through the simulation analysis,the structure of the system can be optimized.
- 1中国人民银行济南分行结构施工设计方案
- 2GB 5858-1986 重载传动用弯板滚子链和链轮
- 3建筑工程资料员培训讲座(PPT)
- 4CAD左手键软件,大大提高绘图效率
- 5屋面保温
- 6机械设计发展史u
- 7MorGain 结构快速设计程序 V2011.06
- 8GB-T_231.4-2009_金属材料布氏硬度试验__第4部分:硬度值表
- 9GBT 51074 2015 城市供热规划规范
- 10香漫山小区C栋别墅室内装修施工平面图CAD
- 11皖2010J121蒸压砂加气溷凝土砌块 非承重墙自保温构造
- 12建筑与装饰工程计量与计价PPT课件
- 13城市人行道栏杆+cad图
- 14JB/T 7446-2007 辗环机
- 15小别墅方案设计图