单晶炉作业指导书

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单晶炉作业指导书
1 设备/工具
单晶炉（DRF-85型）
真空泵（2H-100DV型滑阀泵、2XZ-15旋片式真空泵），直径测量仪。
2 主要原辅材料
多晶硅、籽晶，掺杂剂、石墨热尝石英坩埚、氩气。
3 辅助设施
(1) 冷却水系统、主室真空泵系统、副室真空系统、真空吸尘器系统。
(2) 工艺参数表：
规格 4〞 5〞 6〞
晶转(r/min) 10±1 10±1 8±1
晶升(mm/min) 1.5±0.1 1.2±0.1 1.0±0.1
埚转(r/min) 8.0±0.1 8.0±0.1 8.0±0.1
埚升(mm/min) 0.175±0.001 0.216±0.001 0.263±0.001
真空度(Pa) ＜5 ＜5 ＜5
氩气流量(L/h) 1000±10 1000±10 1000±10
投料量(Kg) 50 50 50
熔料埚位(mm) 0±1 0±1 0±1
熔料功率(KVA) 85-90 85-90 85-90
拉晶埚位(mm) -4±1 -4±1 -4±1
单晶颈部(mm) 3-4 3-4 3-4
引晶长