基于多体系统理论的精密检测平台空间误差建模与补偿_张东旭

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基于多体系统理论的精密检测平台空间误差建模与补偿张东旭 针对大口径光学元件精密检测平台的工作特点及影响其空间误差的各项几何误差因
素， 运用多体系统理论， 用低序体阵列描述多体系统拓扑结构， 建立-种空间误差数学模型。综合
应用激光干涉仪、 球杆仪和激光位移传感器等仪器设备， 提出大口径光学元件精密检测平台各项几
何误差和空间误差的测量方法， 并对模型中所涉及的各项几何误差进行了系统分析和全面测量， 对
空间误差进行补偿。误差补偿实验证明所提模型正确有效， 将空间误差从补偿前 －70. 01 ～22. 14 μm
降低到补偿后 －4. 22 ～5. 8 μm， 大大提高了精密检测平台的测量精度。
关键词: 仪器仪表技术; 精密检测平台; 多体系统理论; 空间误差; 模型; 测量方法; 补偿
中图分类号: TG743 文献标志码: A
文章编号: 1000- 1093(2014)04-