超精密加工中零件的装夹技术

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Parts Clamping Technology in Super Precision ProcessingZHENG Xichao(Shaanxi Institute of Technology，Huxian 710300，China)Abstract：The paper analyzed the deformation reasons of parts under clamping and processing from the aspects of work-pieces location and clamping，taking parts classification as describing way，analyzed the impacts on machining precision andsurface roughness of plane parts，thin-wall parts，cylinder parts，and other pieces.Taking real instance for example，pres-ented problems should be pay attain to when clamping。

Key words：super nicety processing，clamping，cutting force，deformation在超精密加工领域 ，要求表 面粗糙度达到纳米(nm)级 ，尺寸形状精度达到 0.1 Fm或更高精度 ；所以必须要事先考虑到工件安装夹紧力引起 的变形、工件 自重引起的变形和切 削力引起的变形 ，甚至还要考虑到工件制成成品后 由其使用状态和固定方法引起的变形 。即使对-般可以忽略的问题也应慎重地分析 。

l 工件的装夹(定位与夹紧)工件在机床上的装夹，根据功能可分成定位和夹紧 2种功能。定位是使工件处于稳定状态 ，希望是单纯的 3点定位；但定位点(多数情况是线或面接触)-般要承受夹紧力，所以必须具有-定的刚度 。

从定位稳定性和定位精度看，接触面越小越好 ；而从夹紧功能看 ，接触面越大越好 ，这样能以较小的单位面积压力获得较大的摩擦力。所以定位究竟是点接触好还是面接触好 ，它们有着相反 的衡量条件 。从进-步分析夹紧功能看 ，最理想 的是尽量减小对工件的夹紧力 ，以减小工件的变形 。

此外 ，还要尽量减杏工过程 中由刀具切削力引起的工件位移和变形 ，可能的话 ，希望夹紧机构能弥补工件刚度不足。但是 ，这些要求是相互矛盾的，不可能都满足。对于超精密加工应旧能减小切削力 ，-般也是以小切削力为前提来确定夹紧机构的。

2 平面加工件的装夹方法平面加工件 的装夹有 2种情况 ：-种是工件具有足够的刚度，另-种情况相反 ，工件刚度十分差 。

对于刚度大的工件，当机床刚度比工件刚度低，并且安装基准面的精度 (平 面度等)不好时 ，容易影响导轨精度 。这种情况下 ，如果采用 3点支承，并且设法使夹紧力形成-个很小 的封闭 回路 ，就可 以避免产生误差 。所以，只要分析低刚度工件的装夹 ，就能解决所有的问题。

2.1 平板状工件磁盘底板、硅片等工件非常薄 ，是以加工面的背面作加工基准 ，而