X-射线荧光光谱分析技术的发展

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第 3卷第 3期2O13年 9月中国Chinese Journal of无机分析化学Inorganic Analytical ChemistryVo1．3，NO．31～ 7doi：10．3969／J．issn．2095。1035．2013．03．001X一射线荧光光谱分析技术的发展章连香 符 斌(北京矿冶研究总院，北京 100160)摘 要 归纳了 x射线荧光光谱分析技术发展的进程 。从现代控制技术的改善、仪器检测性能的提高、元素检测范围的扩大等 8方面阐述了波长色散 x_射线荧光光谱技术的进展，还就能量色散 x一射线荧光光谱仪的x射线管和探测器技术的快速发展及近 1O年来我国在 x一射线荧光光谱分析方法方面的论文发表情况进行了总结，对近年来 x一射线荧光光谱仪的发展趋势——手持式、偏振、微束分析等进行了评述 ，并对 其技术的发展方 向进行 了展望 。

关键词 X_射线荧光光谱法；能量色散 x射线荧光光谱法；波长色散 x射线荧光光谱法；微束分析；手持式中图分类号 ：0657．34；TH744．16 文献标志码 ：A 文章编号 ：2095-1035(2Ol3)03—0001-07Advances in X—ray Fluorescence SpectrometryZHANG Lianxiang，FU Bin(t3eijing General Research Institute of Mining and Metallurgy，Beijing 100160，China)Abstract The development progress of X—ray fluorescence spectrometry was reviewed in this paper．Theadvancement of the wavelength dispersive X—ray fluorescence spectrometry were expounded from eightaspects such as the amelioration of modern control technology，improvement of instrument performance，extension of the dynamic range for element detection。and 80 on．The X—ray tube and detector technologyused in energy dispersive X—ray fluorescence spectrometry，which have been developed rapidly，weresummarized．The papers in the field of X—ray fluorescence spectrometry published in the past ten years inChina were overviewed．The development trend of X—ray fluorescence spectrometers in recent years，suchas innovation of handheld equipment， polarization technique and micro—beam analysis，as well as thedirection of future development of the technology were discussed.

Keywords X—ray fluorescence spectrometry； energy dispersive X—ray fluorescence spectrometry；wavelength dispersive X—ray fluorescence spectrometry；microbeam analysis；handheld0 引言X射线荧光光谱分析法是利用初级 X射线光子或其他微观粒子激发待测物质 中的原子 ，使之产生荧光 (次级 X射线)而进行 物质成分分析和化学态研究的方法 。1948年 ，世界第一 台波长色散 X射线荧光光谱仪研制成功，经历 60多年的发展，x射线荧光光谱仪已成为大多数实验室及工业部门不可或缺的分析仪器设备，x射线荧光光谱分析技术已在各种科研和工业领域得到广泛的应用 ，而且正在向更深的领域发展 ，为经济建设 和改善人类 生活发挥越来越大的作用。

按色散和探测方法 的不 同，X射线荧光光谱分为波长色散 X射线荧光光谱法(WD—xRF)和能量色散 X射线荧光光谱法(ED—XRF)。

收稿 日期 ：2013 01 26 修 回 日期 ：2013 04 08作者简 介 ：章连香，女，高级工程师，主要从事矿石及冶金产品分析测试研究。E mail：zlianx###yeah．net2 中国无机分析化学 2013年l X射线荧光光谱技术的发展进程X射线荧光光谱技术的发展进程归纳为表 1。

2 波长色散 X射线荧光光谱仪波长色散型光谱仪 可分为i种 ：一种是对各元素逐一进行角度扫描顺序进行测定的所谓扫描式光谱仪 ；另一种是每种元素都单独配备一个 固定 的测角器同时分析多种元素的所谓多元素同时分析式 X射线荧光光谱仪 ，还有一种是前两种组合在一起 的组合型仪器 。虽然从仪器的光路结构来看，x射线荧光光谱仪依然是采用 了布拉格定律Ll一，但近年来，随着计算机技术的发展，X射线荧光光谱仪不管在操作还是在分析性能与分析速度上都有了迅猛发展 。

表 1 X射线荧光光谱技术的发展进程Table 1 Development progress of X-ray fluorescence spectrometry年代 事 件1895年1 923年1 948印20 1廿纪 6O年代中期1 965年2世纪 7年代2 ]世纪 70印代1 970年代 中期1 980年1 982 ：2世纪 8O年代2世纪 9O年代l992年2O世纪末21世纪初2Ol0年伦琴发现了 X射线 。

用 x射线光谱发现了化学元素 Hf，证实了可以用 x射线光谱进行元素分析。

美国海军实验室首次研制出波长色散 x射线荧光光谱仪。

英、美两固有关单位研制成功便携式放射性核素源能量色散 X射线荧光光谱仪，使用平衡滤光片技术，仅能分析单个元素 ，且要测定两次。

探测 x射线的Si(Li)探测器问世，随即被装配于 x射线荧光光谱仪上，成为EI>XRF仪的核心部件。

fl{粒子(如质子、n粒子等)激发的x射线发射分析诞生。轻便 粒子光谱仪用于在火星 } 探测岩石和土壤。

同步辐射 x射线荧光技术发展起来 ，可在微米级范 围内进行元素定量 ，检H}限达到 1×lO g。

我 国开发 了第一台可携式 XRF谱仪 。

全反射 XRF商品仪器在德国问世。

微束 EI)一XRF谱仪投入 市场 ，逐渐成 为表面 、微 区、微试样分析的有力 具 。

推出用小型 x射线管激发 正比计数器和多道分析器商品的 EI~XRF谱仪，一次n 分析约 2O种兀素。

以电致冷半导体探测器 (HgI或 Si PIN)为主要特征的第三代 EI~XRF谱仪 问世 ，一次 町分析约 30种元 素。

偏振化 ED-XRF仪器问世。

WI>XRF谱仪和X射线衍射仪联合使用的仪器推出，成功地用于水泥、钢铁和电解铝熔池中电解质的分析。

Si PIN、Si(Li)和 SDD 种半导体探测器被有效应用 。

江苏天瑞公司研制成功并批量生产功率 400 W 的 ED-XRF和 WI)XRF谱仪合为一体的仪器。

(1)采用现代控制技术大大改善 了仪器性 能。

日本理学在 3064仪器上配备 了碳道 ，用于测定钢铁中的碳 ，金德龙等 J用此仪器分析了白口铸铁和碳化硅中的碳 ，通过改造电路，调整晶体倾角 ，从而建立了 一种快速、准确测定碳的分析方法。仪器的主控 电路也由原来的模拟 电路改成了数字 电路 ，不但从仪器的性能上加以了改善，还大大地降低 了成本 ，另外也使 X射线荧光光谱仪小型化 ，使仪器精度大幅度提升 刮。

(2)采用弯晶聚焦和小功率 x射线管使仪器小型化 。传统 WD—XRF仪需 3～4 kW 功率的 X射线管作激发源，因其 X射线管功率大必须使用水冷或’『由冷 。随着近年来小型波长色散仪器的出现，冈其仪器紧凑并采用弯晶聚焦，不需要如此大功率的X射线管，所用的X射线管激发功率一般为 200~400 W，故不需要水冷，直接风冷就行 。

(3)检测技术的改进提高了分析效率。探测器技术的改进 和多道脉冲幅度分析器技术及大规模CMS集成电路等现代电子技术成果的出现 ，使探测器接收光子的数量大大提高，在保证 同样分析精度情况下 ，元素的测定时间缩短了近 10倍 ，大大地提高了分析效率。

(4)元素检测范 围扩大。前期便携式 XRF分析仪使用闪烁计数器或正 比计数管 ，以单 片机或袖珍计数器(机)作数据采集和处理工具 ，在分析元素种类等方面存在严重不足。20世纪 9o年代中期相继推 出了新型的端窗 X射线管 ，x光管铍窗的厚度变薄 ，铍窗厚度从 125 m缩短 为 75，50或30 m，增加初级 X射线的透射率；减小 X光管窗 口与样品的距离 ，从而缩短 了阳极 和样品 问的距离 ，增大 r X荧光的激发强度 。同时测定轻元素的分光晶体改用多层薄膜Ⅲ7]。 日本岛津公 司研制 的顺序 型 x射线荧光谱仪 XRF～1800，分析样 品 中元素从元素周期表 中 Bet 。U(同时扫描分析)，分析浓度范 围为几btg／g到 100 常量 ，检出限达 1O～0．5>g／I ，分析精密度为 o．2 ～2％。样品形态可以是固体或液体 ，样品的量可以从几十毫克到几克。

(5)数据处理系统智能化 。窗式软件升级和汇编分析程序的智能化以及数学校正法的完善大大推动了数据处理系统的智能化 。仪器的数学校正法软第 3期 章连香等：x一射线荧光光谱分析技术的发展 3件基本上由经验影响系数法校正的程序，升级为基本参数法程序或可变理论影响系数法程序。罗学辉等J一 在文献 中总结了利用软件的数学校正方法来改善铁矿石 中多种元素测定时的基体效应及谱线重叠干扰校正的应用实例。

(6)仪器操作转向智能化。为了节省人力 ，降低分析成本 ，新的 XRF仪普遍采用计算机和大规模集成电路 ，在强大的软件功能支持下 。能在无人操作下自动进行试样测试 ，为在线 、现场和流程分析带来 了方便 j。樊兴涛等 利用 车载台式能量 色散 X射线荧光光谱仪 ，在内蒙和新疆两地覆盖 区的钻探现场 ，对 由轻便钻采集的覆盖层 和基岩样 品进行 了贱金属分析 ，实验表明，现场分析方法快速 、准确 ，适用于野外钻探、化探等急需现场数据支持的工作 。

(7)单 波长 色散 X荧 光技术 。X射线 经分 光后 ，以单波长激发 样品，只测 定一种元素。仪器小巧 ，即插 即用 ，可放置 于任何实验室 ，分析器无运动部件。最低 检测下限可 到达 0．15 g／g，检测 上限可达到 10 ，一 般检测范 围为 0～3 000 fg／g。目前已有用于测硫 、氯的单波长色散 X荧光光谱 仪，广泛用于检测汽油、柴油和重油等石 油产品。图 1为单波长色散 X荧光技术的原理示意图。

接收探测器图 1 单 波 长 色 散 x 荧 光 技 术 的 原 理 示意 图Figure l Schematic of single wavelength dispersiveX。ray fluorescence spectrometry.

(8)微 区面分布的元素成像分析 。从 刚开始研发时波长色散 X射线荧光微 区面分 布的元素成像分析的分析束斑为 1 mm，发展到 250 fm的分析束斑 成 像 能 力。 目前 ，岛 津 XRF一1800X 可 实 现250 fm微区元 素面分布成像分 析，并通 过 CCD数字成像 ，实现 3 mm或 0．5 mm 的定位分析功能 ，实现低倍率下精确、定量测定 。射线荧光微 区面分布的元素成像分析 (iXRF)，开拓了 X射线荧光分析在地质矿产 、电子产品、失效分析 、新材料开发 、金属材料的偏析测定 、公安部门微量物证 、考古文物等领域的分析应用_l 。。

3 能量色散 X射线荧光光谱仪能虽色散 x射线荧光光谱(ED—XRF)采用多道分析器将不 同能量的脉冲分开并测量 。1969年 ，美国海军实验室 Birks研 制 第一 台真正意义 上的ED—XRF光谱仪 。近半个世纪以来，随着半导体技术和计算机技术的迅猛发展 ，特别是半导体探测器出现和性能不断地提高 ，ED-XRF光谱仪 的生产和应用也得到了快速发展，与早期相比，现代 E【)IXRF光谱仪已在 X射线管和探测器方面获得了较大进展 。

3．1 X射线管能量色散仪器的 X射线管功率不超过 100 W。

因其功率低 ，散热少 ，冷却方式只需 自然 冷却或风冷 。小型 X光管最近几年不断出现 ，并多采用新技术，如以激光代替热灯丝，将靶材镀在铍窗后面的透射靶等 。其体积只有花生大小 ，功率只有几瓦，有的甚至不到 1 W。瑞典的一项专利称 ，用 X射线聚焦元件把小 X射线管发出的射线从 SDD探测器中间的小孑L导 可制成把 激发和探测集成 到一起 的 X射线管 ”]。

3．2 探测器XRF探测器是用来接收 X射线并把它转变成可测量的或可观察 的量 。现在最常用的探测器有流气式正 比计数器 、封闭式正 比计数器、闪烁计数器 以及应用于 X射线荧光能谱分析上的半导体探测器 。

ED—XRF仪 的探测 器 目前 主要 有 以下 类 型：Si(Li)探测器，Ge(Li)探测器 ，Si—PIN探测器和硅漂移探测器 (SDD)。

Si(Li)和 Ge(I i)探测器 ，也 叫锂漂移硅 和锂漂移锗探测器 。这是最早 出现的一种半导体探测器。

其优点是有极高的分辨率，良好的线性响应 ，寿命长和T作性能稳定等 。它在常温下的噪声可达几十电子伏 。当用于 x射线测量时，它必须在液氮保护下进行低温操作 。因此在应用上受到了限制。

Si—PIN探测器 ，即纯硅探测器 。这是近年来 由美国推出的新型 X射线探测器 。主要 的优点是通过电制冷方法，在常温下工作，体积小，重量轻，价格较低 。美 国 Amptek公司生产的 XR一100型 Si—PIN电制冷半导体探测器，电制冷功率仅为 1 w{一¨]。陈永君等 钉利用 Si—PIN高分辨率探测器，研制了2408道 X射线荧光光谱分析仪，并在地质和矿物样品分析 中进行了应用 ，与封 闭正 比计数器 X射线荧蚍隧／一4 中国无机分析化学 2O13在光分析仪相比，分辨率提高了5倍，检出限降低了一个数量级。 日本岛津公司生产 的 EDX—LE能量 色散型 X射线荧光分析装置配 备无需液氮型 电子制冷(Si—PIN)检测器 ，在实现降低运作成本和更易维护的同时，以维持高可信性分析和进一步提高操作性达到 自动化分析为 目标。

硅漂移探测器(SDD)。基于侧向耗尽原理 的硅漂移探测器(SDD)首先作为二位位置灵敏探测器于1983年被 E．Gatti和 P．Rehak提 出，随后 在高分辨率 X射线光谱学 的应用取得 了巨大成功 。由于收集阳极几乎独立于整个有源区，硅漂移探测器的阳极电容非常小 ，使得它相 比于传统的光 电二极管探测器(Si—PIN探测器)和 Si(I i)探测器 ，能够在更短的成型时间内获得更好的能量 分辨率 ，以提高计数率；相 比于 Si(Li)探测器和 Ge探测器 ，SDD只需要帕尔贴元件制冷就可以获得小的漏电流和高的能量分辨率 ，因此，硅漂移探测器已成为一个常规的 X射线光谱 仪的核心部件l_1 。美国 AMPTEK 生产的 XR一100SDD系列产品由新型高性能 X射线硅漂移探头 ，前置放大器 (前放 )和致冷 系统组成。采用热电致冷技术保持硅漂移探头(SDD)的低温_T作环境 ，而在两级热电致冷器上亦安装 了输入场效应管(FET)和新型温度反馈控制 电路，这样探头组件 的温度保持在约一55℃，并通过组件上 的温度传感器显示实时温度。使用 9．6 fs或更少的成形时间，这极大地提高了系统的输出效率 。

4 手持式 X射线荧光光谱仪手持式 XRF分析仪的激发源主要为小型 X射线管 ，耗能很低 ，因此可以用锂 电池供电，一般一块锂电池可连续工作 4 h，充 电极 为方便 ，所 以，手持式 XRF分析仪是一种重量轻 、体积小 、便于携带 、可在现场进行检测的 E【)-XRF分析仪，可用 于化学元素成分定量分析、定性检测的智能分析检测仪器，具有快速、准确 、无损 、方便的特点，无须繁琐的样品前处理 。应用于合金 、矿样 、地质、贵金属 、废旧金属回收分析、土壤检测、电子消费品、玩具安全等 的环保检测 ，特别用于“RolS”检测等领域。智 能化的仪器很好地解决了对非化学分析专业领域里技术人员的知识要求，使应用更便捷，使用人员范围更普及。

测定元素范围：一般为 s～U或 Mg～Th，可同时测定 25种以上元素。焦风菊等 用手持式 X荧光光谱仪对液压系统过滤器上的杂质中金属元素含量进行了测定 。根据测定结果来进一步判断滤清器主要的污染来源 ，对其使用过程 中污染预防起到了一定的作用。随着新市场 的出现及新应用的多样化 。手持式 XRF仪器也正在逐渐向高稳定性、多功能性及高性能化三个方向发展 。

5 全反射 X射线荧光光谱仪当 X射线以很小 的掠 射角入射到一光 滑的反射体平面时，就会发生全反射 。全反射 X荧光光谱法(Total Reflection X Ray Fluorescence，TRXRF)的激发与普通 XRF不 同，普通 XRF通常是以入射角大约 45。的初级 X射线激发样品 ，而 TRXRF是 以入射角<0．1。的初级 X射线激发样品。由于入射 X射线 从 分 析 样 品 的 光 滑 反 射 体 表 面 的 极 浅 层(～10 m)发生反射，入射线几乎不被吸收，也不能进入样品，所以可以大大降低本来对痕量分析不利的x射线背景。

测试样品时，样品置于载体上 ．初级 X射线 以全反射经过载体表面 ，激 发出来的 X射线荧 光，用Si(Li)探 测 器 检 测 。图 2为 常 规 XRF(a)和TRXRF(b)的仪器配置 ，对 比显示了这两种仪器激发和探测单元几何结构的不同。

2 '、 I 一— — 噩 锶 勺 量L讯 ￡焉‘ —— 诤 — 讯 警哥t图 2 常规 XRF(a)和 TRXRF(b)的仪器配置图Figure 2 Instrument configuration of(a)conventional XRF and(b)TRXRF第 3期 章连香等 ：X一射线荧光光谱分析技术的发展 5TRXRF所能达到的检出限为 1 pg或 0．03 g．g／I ，特别适用于样品表层的痕量元素分析，也经常用于半导体硅片中表面污染分析、硅片上 的超薄金属膜分析和硅片表面粗糙程度 的测定等 ，是半导体T业 中不可缺少的分析测试手段。此外在环境、医药和生命科学 中也获得广泛 的应用 。王凯等 采用全反射X射线荧光光谱法(TRXRF)同时测定了复混肥料中的钒、铬 、锰、铁 、镍 、铜、锌 、铅 ，方法检 出限低 于7．0“g／g，方法回收率为 8O ～120％，其分析结果的相对标准偏 差 小于 ICP—AES法。近年 来 ，由于T—XRF检出限低 ，不破坏样 品，样品用量少 ，用于法庭分析特别引人注意 。

6 偏振 X射线荧光光谱分析X射线是一种横波 ，偏振就是把它 的辐射振动约束在一个平 面 的作用 过程 ，这 种 几何结 构 又称Cartesian Geometry(笛卡尔几何)。

X射线偏振现象是在 1906年 R Barkla首先发现 ，1973／74年 Young Dzubay首先把偏振用于 ED—XRF，1992年 spectro制造 了偏振化 ED—XRF仪器。

由 X射线管产 生的初级 X射线照射在二次靶(起偏器)上 ，产生偏振光 ，改变 9O。方向后再激发样品，产生元素的 X射线荧光 ，随后被 紧靠 近样 品 的Si(I i)半导体检测器所接 受(见图 3)。由于 X射线的入射光和其反射光之 间成 90。角 ，这样就 可以大大降低 了轻基体的散射背景 ，降低 了元素分析的检出限 ，如同拍摄高质量照片时，在镜头前放置一个滤光片一样 ，能除去水面反光 ，水面就能看得更清楚 。

图 3 偏 振 X射线荧光光谱 仪的结构Figure 3 Schematic of a polarized energydispersive X-ray fluorescence spectrometer.

偏振 X射线荧光分析仪使 XRF分析技术 用于准确测量 1O ～10 g量级的 Cd，Sb，Se，Ta，Tl，I及 Pr～Lu的 13种稀土元素成为可能，在某种意义上弥补 了目前 W~XRF谱仪的不足，可测定地质和古陶瓷样品中 6O种以上的元素l 。 。

7 微束 XRF分析近年来微 束 X射线荧 光 已逐渐成 为表 面、微区、微试样分析 的一种有力工具。为获得高的空间分辨率，途径之一是使用微束斑 的 X光管加小孔光阑，这是美国 Kevex公司生产的 micro微 区 XRF分析仪所采用的技术 。2O世纪 80年代 中期的苏联科学家 Kumakhov发明的 X光透镜 ，则是利用 X光在玻璃导管内壁产生多次全反射而获得高强度的微束 X光。与常规 XRF不同的是，这种微束技术 不是用于分析均匀试样的平均组分 ，而主要用于非均匀材料如矿物 、多相合金 、生物试样和微电子元件等的局部分析。

微束 XRF具有原位、多维、动态和非破坏性特征，近 2O年来 ，广泛用于生物样品活体分析、文物分析和刑侦科学中指纹样品鉴定等领域，已成 为研究X射线光谱学 的热点。二维 IX—ED—XRF谱仪 已商品化 ，通常是由 50“m微聚焦源和会聚 X光透镜组成使用 Mo靶 ，最高电压 5O kV，最大电流 1 mA，功率连续 可调。近年来相继研制 三维 IX—XRF谱仪 。有人利用共聚焦装置对故宫棕色壁画进行深度扫描分析 ，获得壁 不同深度 Ca，Fe，Pb，As的分布信息，元素的深度分布特征揭示了壁画主要有三层，上表层颜料 以 Ca和 Fe为主，深度约 100 m，第二层元素以 Pb，As为主，第三层元素以 F为主。胡孙林等 。J采用微束 x射线荧光光谱仪(micro—XRF)分析其二维元 素分布技术 对 7种真假纸 币样本和2003～2008年的 32宗诈骗案件 中共计 225件被染黑 的真 假纸 币物 证进 行 了分 析 ，结 果 表 明，微 束XRF技术能有效检验被染料染黑的真假纸币 ，具有灵敏度高．分析过程 中不破坏样 品，结果准 确的特点 ，在该类物证的检验 中具有较高 的应用价值 。初学莲 等 采用微束 X射线荧光分析谱仪对松针中元素的分布进行了分析 ，得 出各种元素沿松针长度方向和横切 面径 向的分布规律 ，结果表 明，使用 X光透镜的微柬 X 射线荧光分析方法可以实现植物样品的微区分析，有助于进一步了解植物的生 长与元素迁移的关系。

8 XRF论文发表与分析方法标准本世纪头 10年我国发表的X射线荧光光谱法论文情况如 图 4所示，可 以看出，XRF发表 的论文呈增长趋势 。

6 中国无机分析化学 2013正／ ?10／ ＼O0一(1l 02—03 f ～05 6—07 08—09 10—11年度图 4 本世纪头 l0年我国 XRF论文发表情况Figure 4 Year distribution of the XRF papers publishedin China in the first ten years of this century.

从 2010年 8月至 2012年 7月的两年间，在 国内学术刊物上发 表 的有 关 XRF的文章 ，共有 213篇 ，其在各领域的分布情况如 图 5所示 ，从 图可看出，XRF应用最多的领域是黑色冶金，其次是有色金属领域。

1.

18应 用领域图 5 最近两年我国 XRF论文领域分布情况Figure 5 Research field distribution of the XRF paperspublished in China in the recent two years.

我国 目前发布 的 XRF分析方法标 准共计 58个 ，其在各领域的分布情况如 图 6所示 ，从 中可看出，XRF分析方法标准应用最多的领域是有色金属材料 ，其次是黑色金属材料 。

9 XRF的发展趋势预计在未来数年，XRF仪的销售与使用依然呈增长趋势，其中尤其是便携式 XRF仪、ED—XRF仪、微区XRF仪将会有较大幅度增长。随着现代信息化技术的不断渗透和介入，随着新仪器、新技术的不断出现，XRF分析技术将体现在以下几方面的发展。

图 6 我国 XRF分析方 法标 准分 布情 况Figure 6 Research field distribution of the XRFanalytical standard methods published in china.

9．1 仪器多功能化 。一机多用为了提高_T作效率，降低分析成本，新一代 x射线荧光光谱仪正朝着一机多用方向发展。有的仪器不但可作常规大面积样品分析 ，还可在微 区进行高灵敏度分析 ；有的仪器不仅具有 X荧光优 良的元素检测灵敏度 ，而且还具有扫描电镜显微分析的立体分辨率 ，能用彩色监视器在分析过程中实时提供试样的图像 ，综合了几种分析仪器的使用功能 ；有 的仪器具有元素测量和图像分析双重功能。

9．2 仪器小型与专用化XRF仪器小型化主要体现在采用小功率 X光管，减少水冷系统 ，从而大大减小 了仪器体积。仪器小型化的另一个方面主要是随着现代电子技术的发展 ，仪器功能模块有高度集成化的趋势 ，从而大大减小仪器体积。由于现场分析和专用 分析 的需要 ，小型便携式 X射线荧光光谱仪的应用将逐渐广泛。

9．3 仪器智能化仪器智能化主要体现在现代计算机软、硬件技术的应用，使功能更健全、丰富，操作更简便、快捷，具有定性 、定量 、半定量 软件包和无标样分析软件 。

现代 XRF仪均采用 了先进 的 Windows操作 系统 ，操作界面友好 ；有的还装有数据库。一些仪器具有自诊断功能 ，有的还可通过 Intenet网络进行远程诊断。仪器计算机系统有联网能力，实现远距监控，满足特殊场合提出的遥控、遥测要求。

9．4 XRF仪器的国产化水平将得到提高至今我国使用的 XRF仪器主要依赖进口，且价格昂贵。按我 国当前的技术水平 和设计能力 ，制造某些重要部件而设计制造整机是完全有条件的。在WD—XRF方面，目前有江苏天瑞仪器股份有限公司、深圳市华唯计量技术开发有限公司批量生产 ，而积繇褂 懈第 3期 章连香等：x一射线荧光光谱分析技术的发展 7ED-XRF方面国产化水平较高。

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