具有三维聚焦功能的微流控芯片

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第 21卷 第 9期2013年 9月光学 精密工程Optics and Precision EngineeringVol|21 NO．9Sep． 2013文章编号 1004—924X(2013)09—2309—08具有三维聚焦功能的微流控芯片杨潞霞 ，郝晓剑 。，王春水 。，张斌珍 。，王万军 。

(1．中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室，山西 太原030051；2．山西大学商务学院信息学院，山西 太原 030031；3．中北大学 电子测试技术重点实验室，山西太原030051)摘要：为了使用微流体细胞仪对细胞精确计数，采用紫外光刻工艺制作了能够真正实现三维聚焦功能的微流体检测芯片(微流控芯片)。使用聚二甲基硅氧烷(PDMS)进行二次倒模复制其结构以缩短微流控芯片制作周期、降低制作成本，并进行了芯片的封装与测试。首先，利用沉浸式光刻技术和斜曝光工艺制作了具有三维聚焦功能的SU一8微流沟道；然后，利用 PDMS对所制作的SU一8微流沟道进行一次倒模，得到其负模结构；对负模结构进行表面处理后，再进行二次倒模 ，得到 PDMS微流沟道；最后，封装 PDMs微流沟道与盖片，制得微流控芯片，并对微流控芯片的沟道聚焦效果进行了测试 。实验测试发现随着鞘流与样本流流速 比不 同，得到样本流 的聚焦宽度 也不 同。当鞘流与样 本流流 速 比为20：1时 ，可以得到约 1O．4 m的聚焦宽度。结果表明，该芯片结构可靠，可以满足进一步的流体聚焦检测要求。采用该方法制作的微流控芯片具有生产周期短、成本低、效率高和结构可靠的特点。

关 键 词 ：微流控芯片 ；三 维聚焦；SU一8胶 ；聚二 甲基硅氧烷 (PDMS)；倒模中图分类号 ：TP273；TH703 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE．20132109．2309Three—dimensional focusing microfluidic chipYANG Lu—xia ’。 ，HA0 Xiao—jian ，WANG Chun—shui ，ZHANG Bin—zhen ，WANG Wan—jun ’。

(1．Key Laboratory of Instrumentation Science& Dynamic Measurement of the Ministry ofEducation，North University of China，Taiyuan 03005 1，China；2．School of Information，Business College of Shanxi University，Taiyuan 030031，China；3．Science and Technology on Electronic Test＆ Measurement Laboratory，North University of China，Taiyuan 03005 1，China)*C0，．r 5 0 d g author，E-mail：wangwanjun###hUG．edu．cnAbstract：To count the cells precisely by using a microfluidic eytometer，a three—dimensional focusingmicrofluidic chip was designed by UV—photolithography based on SU一8 photoresist．The PolydimethylSiloxane(PDMS)was used to cast doubly to replicate its structure and to shorten the fabrication cycleof microfluidic chip and reduce its costs．First，the PDMS was taken to fabricate a mold with a three—dimensional focusing microfluidic channel by the oblique exposure lithography of SU一8 photoresist andimmersion lithography．Then，the PDM S was used to cast firstly for the SU一8 microfluidic to obtain aPDM S negative mode structure． After the negative mode structure was treated，it was casted againand the PDM S microfluidic detection channel which was consistent with that of the original mold was收稿 日期 ：2013—04—11；修订 日期 ：2013—06—07.

基金项 目 ：国家 自然科学基金资助项 目(61176115)光学 精密工程 第21卷achieved．Finally，the PDM S microfluidic channel with a cover plate was packaged by using a certainpackaging method and the microfluidic chip was obtained．Furthermore。the channel focus effect wastested．The test result shows that the focused width of sample flow changes with the different velocitvratios of sheath flow and sample flow．W hen the ratio of sheath flow and sample flow is 2O：1．the fo—cused width iS about 1 0．4／,m．The results demonstrate that the chip with the microstructure iS relia—ble，and it meets the requirements of further fluid focus testing．The manufactured microfluidic chipby using this process has a short cycle，low costs and a high efficiency.

Key words：microfluidic chip；three—dimensional focusing；SU一8 photoresist；Polydimethyl Siloxane(PDMS)；inverting mold引 言微机电系统 (Micro—electro—mechanical Sys—terns，MEMS)是指基于(但不限于)集成电路 (In—tegrate Circuit，IC)工 艺设计 制造 ，集微机构 、微传感器、微执行器、信号处理及控制电路等于一体的装置 ]。随着 MEMS技术 的迅猛发展 ，生物微机电系统(BioMEMS)已成为其中重要 的分支 。

微机电技术和生化分析结合的生物芯片在将仪器设备微小化的同时，可以大大加快分析速度，简化操作程序 ，因此被广泛应用于疾病诊断、药物筛选和环境检测等诸多领域 ]，已成为近年来微流控芯片技术发展的热点。

微流 控 芯片 是 MEMS研 究 的一 个 重要 分支[4 ]，采用传统 MEMS工艺制作的微型流体聚焦沟道(微流控芯片)都是基于平面设计加工的，在垂直于基片的方 向是等深的，因而样本只能在沿平行于基片的平面方向上聚焦排列 ，而无法在垂直于基片的方向实现有效的聚焦排列。基于这种设计 的二维流体聚焦腔也只能实现所谓“一维聚焦”(即水平方向的聚焦，而无法实现竖直方 向上的聚焦)，很难制作出具有三维聚焦功能的微流控芯片_6。]，在一 定程度上降低了测量的精度和取样效率。

传统的以硅片为模板 。采用湿法或干法刻蚀的制作方法一般只能在牺牲层上精确地刻蚀出微流控芯片的平面二维 图形，而且干法刻蚀设备 昂贵，湿法刻蚀的沟道侧壁形貌又对沟道宽度有直接影响。本文所设计的微流控芯片最大深宽比为l0：1，在聚焦处还有 与基底成 45。的斜坡，很难通过简单的湿法或干法刻蚀工艺得到。考虑 SU一8胶是一种负性 、环氧树脂型 、近紫外线光刻胶 ，适于制作超厚 、高深宽 比的 MEMS微 结构。因此 ，所设计的微 流控芯片首先以 SU一8光刻胶作为结构材料 ，根据斜曝光原理，采用沉浸式光刻工艺制造出一种立体的能够真正实现三维聚焦功能的微流控芯片 。由于 SU一8光刻加工工艺制作微流控芯片在每次制作时均需要二次甩胶和倾斜曝光，存在加工程序复杂繁琐 、制作周期较长、成本较高等的缺点 ，而聚二 甲基硅氧烷 (PDMS)具有高度的疏水性 、良好的光学和化学性能 ，且加工简单 、价格便宜 ，已经广泛应用于微流控芯片的研究领域_7]，故本实验以 SU一8微流控芯片为模具 ，首先使用聚二甲基硅氧烷(PDMS)浇注得到负模结构，然后再使用该负模进行多次倒模 ，得到多个与原 SU一8模 具一致 的 PDMS微流控 芯片。这些PDMS芯片有着 良好的生物兼容性与光学性能 ，将其键合封装后 ，可 以作为细胞计数及检测的微流控芯片结构。

2 SU-8微流沟道 的设计与制作2．1 微流沟道的设计微流体细胞仪用水力所引发的流体聚焦效应进行细胞计数及分类，由 3条平行进样管道、喷嘴及集中流管道组成。样品由中间进样管道注入，鞘流体由两侧进样管道注入，并在喷嘴口挤压中间样品流，产生聚焦效应 ，侧边鞘流的流速越快则聚焦效果愈佳。适当控制各进样管道流体的注入流速，可将样品流宽度缩减至单一细胞的尺寸，然后通过光学检测机构进行细胞计数，再通过激光束对细胞所产生的折射及反射现象进行观察，藉此分析细胞的大小和种类，还可以利用荧光标定方法，将标定细胞发出的荧光经由多组光学组件，进入光电倍增管，再经过计算机数据处理 ，得到需要 的细胞分析数字信号 o_u_ ]。

第9期 杨潞霞，等 ：具有三维聚焦功能的微流控芯片为了实现对流体的三维聚焦，基于目标需要和 SU一8的斜曝光原理 ，设计 了如 图 1所示 的微流沟道结构。该结构共有 3个流体入口，中间为样本流入 口，左右两侧分别为鞘流入 口。在流体聚焦处有 3个斜面 ，左斜面和右斜 面分别与基底垂直 ，中间斜面与基底 成 45。角。中间 的样 本流通过两侧鞘流在左、右斜面的挤压作用下可以实现水平方向的聚焦 ；由于斜坡对流体 的缓慢上抬作用 ，在 中间斜坡处也可 以实现对样本流竖直方向的聚焦；同时样本流人 口沟道的截 面积 比出口的小，在沿样本流方 向也可 以产生一定 的聚焦效果 ，这样 就可 以实现对样本 流的三维 聚焦功能。

为了后续的流体芯片检测方便，将 3个流体人口处设计为密封结构。

样本图 1 微流控芯片的设计结构Fig．1 Structure of microfluidic chip2．2 斜曝光原理因为未曝光 的 SU一8光刻胶在空气中的折射率为 1．65，即使紫外光入射角达到 90。，其折射角也只能达 到 36．8。，无法满 足制作 45。斜 坡 的需要 ，如图 2所示 。所 以采用传统 的平面垂直曝光光刻技术无法实现斜坡的制作，因此使用一种特殊的曝光方式 ，即沉浸式光刻技术[1。 ]和斜曝光技术来制作微流体聚焦 的中间 45。斜坡。根据斯涅尔折射定律可知：l sin 01= 2 sin 02一 3 sin 03一 4 sin ，(1)式中：7"／ 、 、7"／。和 为去离 子水 、掩模板、甘油和SU一8的折射率 ，分别为 1．33、1．52、1．45和1．65；对应的 、0 、 和 分别为相邻交界面的入射光图 2 入射角为 9O。的紫外光照射 SU 8光刻胶产生的折射角Fig．2 Refraction angle produced with SU一8 photo—resist irradiated by ultraviolet light at inci—dent angle of 90。

(a】光折射图(a)Photorefractive figure1．658基底(b)实验示意图(b)Experimental schematic diagram图 3 斜曝光原理Fig．3 Principle diagram of oblique exposure线与其 法线 的夹角 ，如 图 3(a)所示 。可见 要 在光学 精密工程 第21卷SU_8光刎胶上得一个 臼．为 45。的斜面．需要保证紫外光在水中入射到掩膜板表面的角度 为 61．3。。

为了弥补 SU一8光刻 胶表面不平整 ，减少其与掩膜板接触时产生 的空隙，更好地达到接触式曝光 ， 先在涂有一定厚度 SU一8光刻胶 的硅片和掩膜板之问涂覆一层甘油，然后通过 自制夹具同定各个部分，最后按照 与水平面呈 61．3。的斜度放置在去离子水 中(如图 3(b)所示 )进行斜曝光，即叮得到所需结构。

2．3 SU一8微流沟道的制作SU一8微流沟道的制作分两步进行套刻加工，具体工艺流程如图 4所示 。

(a)Spin—coatI紫外光’ r ’ I ， l1 f
(b)斜曝光(b)TIlcd cxposⅢ℃l(f)垂直曝光后结构(f)Structure after Verticalexposuret~45~ 凰 r
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pi．ng 《阐 4 SU 8微流沟道制作 T艺流 程示 意图Fig．4 Process flow diagram of SU一8 microfluidicchannel第一步根据 SU一8光 刻胶斜曝光原 理，在清洗好的硅片上甩一层 SU一8光刻胶，经前烘后 ，将甘油涂覆在 SU一8光刻胶和掩膜板之间，并用 自制夹具固定，然后将夹具倾斜 61．3。置入去离子水 中，进行倾斜曝光 ，得到用于聚焦样本流和鞘流的 45。斜坡。

第二步是在第一步已曝光、后烘过而 未显影的 SU一8胶上进行 SU一8二次甩胶 。再前烘后将掩膜板与第一次曝光的对准标 记对准，采用传统的直光刻法进行垂直曝光。经后烘和显影完全后，得到微流沟道的通道及垂直边墙，形成与 图 1所示结构一致的 SU一8微流沟道 。

2．4 SU一8微流沟道的扫描电镜分析对采用上述方法制作的 SU一8微流沟道进行扫描电镜观察．可以清楚地看到微流沟道结构(如图 5(a)所示)和聚焦处 的 3个斜面(如图 5(b)所示)，同时为了比较二次倒模后 PDMS正模微流沟道的结构变化情况，表 l给出了微流沟道 的各个部分的尺寸。

(a)微流沟道(a)Microfluidic channel(b)聚焦斜坡处(b)Focusing lace on the slope图 5 SU一8微流 沟道 和聚焦斜坡处 的扫描电镜图Fig．5 SEMs of microfluidic channel and focusing faceon slope for SU一8第9期 杨潞霞 ．等 ：具有 维聚焦功能的微流控芯片3 PDMS微流沟道的制作f_}1于采用 SU一8光刻胶制作 的微流沟道加工周期长、难度大，为了缩短加_丁周期，降低加 lT难度，以第一部分制作的SU一8微流沟道为模具，使用PDMS对其进行二次倒模复制加T。

3．1 PDMS微流沟道的一次倒模白‘先将 PDMS预聚 体 和 同化 剂 按 质量 比10：1配置 ，放置在真空烘箱 巾进行 30 rain的脱泡处理 以确保预聚物 巾不含气泡。然后将其浇注在已制好的 SU一8微流沟道上 ，放人 75℃的干燥箱中保 持 90 min。待 预 聚 物 充 分 同化 后 ，将PDMS从 SU一8上 剥 离 。得 到 微 流 沟 道 的 负模结 构 。

3．2 负模结构的表面处理与二次倒模直接用 PDMS对负模结构进行倒模，脱模 时会出现粘连和撕 裂，闪此需要对制得 的负模结构进行表面处理。采用质量分数为 1 的羟丙基 甲基纤维素 与 pH一3的磷酸缓 冲液按质量 比为 1：1配置的混合液作为处理液。首先将负模结构浸泡在混合液中 30 min，然后 采用与 3．1一样 的方 法 进 行 二 次倒 模 ，得 到 如 图 6所 示 的PDMS微流沟道，微流沟道的各个部分 的尺寸如表 l所示 。通过 比较表 1数据 可以发现 PDMS微流沟道各部分的结构尺寸与 SU一8微流沟道 的尺寸相差很小 ，保形性较好，误差范 围最大的在1．4 ，不会影响微流沟道的聚焦结果。

表 1 SU 8结构与 PDMS正模结构关键尺寸 比较Ta1)．1 Comparisn of critical dimensions of microl-luidic st ructure of SU一8 with PI)MS replica (um)(a)微流淘道 (b)聚焦斜坡处(a)Microfluidic channels (b)Focusingface on slope同 6 PDMS微流沟道聚焦斜坡处 的扫描 电镜 网Fig．6 SEMs of PDMS mierol'luidic channel and focusing face on slope4 PDMS微 流控 芯片的封 装与测试将 PDMS微 流 沟道 与 PDMS盖 片进行 180mTorr气压、30 w 功率 、60 s的氧等离子体处理后，用 PDMS预聚物将二者键合，放入 100℃的烘箱中保持 4 h，得到如图 7所示的微流控芯片。

将 3个注 射器放置 在微注射 泵 (Kdscientific光学 精密工程 第21卷冬1 7 封装 后的微流控 芯片照片Model 200 Series)上 。使用 含有 7／tm 荧光 微球(488 nm 的激发光，522 nm 的绿色散色光)的去离子水溶液作为样本流 ，去离子水作为左 右两边的鞘流 ，用荧光显微镜进行观察。通过改变样本流与左右两边鞘流的流速观察其封装和聚焦效果 ，得到不同流速 比下的样本流聚焦宽度 ，结果如图 8所示。

罔 8 鞘流 、样本流速 比与 聚焦 流宽度 的关 系图Fig．8 Velocity ratio of sheath flow and sampleflow 'US the width of focused flow显微镜观察结果表明样本流与鞘流从入 口注入后 ，可沿沟道顺利流过 ，沟道通畅，无堵塞 ，沟道周同也无液体泄漏，证 明所封装的微流体结构接触紧密 。同时样本流经 45。斜坡处发生 了明显 的聚焦，样本流在出口沟道聚焦成一条绿线(如图 9所示，彩图见文章电子版)。由此 可见 ，所设计的微流控芯片可以根据实际需求调节样本流与鞘流的流速比来满足进一步 的流体中微粒分类与计数检测的要求。

罔 9 荧光颗粒的样本流聚焦效果图Fig．9 Test figure of focusing effect of packaged chip5 结 论设计了一种能 真正 实现 维方 向上 流体 聚焦的微流控芯片，通过沉浸式光刻技术 和斜 曝光技术制作 了该 SU一8微 流沟道 ，然后通 过二 次倒模技 术制作了 PDMS微流沟道 ，最后对 PDMS微流沟道进 行 了封 装 ，制 得微 流控芯 片 ，并对其 沟道聚焦性能进 行 了检 测。 当样本 流与左 右两 边鞘流的流速 比不同时 ，得 到不 同的样本 流聚焦 。

当样本流与左右两边鞘流的流速 比为 1：2O：2O时 ，得 到的样本流聚 焦平 均宽度为 10．4／,m。由于血红细胞 的直径约 为 7．5 btm，冈此该聚焦宽度可用于检测 血红细胞 数 目。同时聚焦 效果测 试表 明该芯片结构可靠 ，可以满 足不同的流体聚焦检测要求 ，从而可 以进一 步满 足检 测分类与计数微小颗粒的要求。

第9期 杨潞霞 ，等 ：具有三维聚焦功能的微流控芯片 2315参考文献 ：r1] ARNAU B，HEIMGARTNER S，COUSSEAU P.

Static micromixers based on large—scale industrialmixer geometry EJ]．Lab on a chip，2001，1(1)：56—60.

Ez] 孙长敬，褚 家如．基于 MEMS技木的微流休混合器及相关 技 术 [J]．微 纳 电子技 术，2004(5)：28—32.

SUN CH J，CHU J R．Microfluidic mixer based onMEMS and related technologies EJ]．Micronano—electronic Technology，2004(5)：28—32． (in Chi—nese)[3] 杨静，杨军，许蓉，等．一种微流控细胞分离芯片及其流场分析EJ]．仪器仪表 学报，2009，30(7)：1508—1511.

YANG J，YANG J，XU R，eta1．．Microfluidic celsorting chip and its flow field simulation EJ]．Chi—nese Journal of Scientific Instrument，2009，30(7)：1508—1511．(in Chinese)[4] 张平，胡亮红，刘永顺．主辅通道型微混合器的设计与制 作 [J]．光 学 精 密 工 程，2010，18(4)：872—879.

ZHANG P，HU I H。I IU Y SH．Design and fab—rication of micromixer with main- assist channels[J]．Opt．Precision Eng．，2010，18(4)：872—879.

(in Chinese)E51 刘冲，梁勇，李经民，等．微流控芯片操作机器人碰撞保护装置的设计[J]．光学 精 密工程，2009，17(1)：138—145.

LIU CH，LIANG Y，LI J M．Design of colisionprotection system of handling robot for microfluidicchip[J]．Opt．Precision Eng．，2009，17(1)：138—145．(in Chinese)I-6] 雒文伯，梁智创，蔡建雄 ，等．具有三维聚焦之微型流式细胞／颗粒计数仪[J]．功能材料与器件学报 ，2008，14(2)：436—440.

I U0 W B，I IANG ZH CH ，CAI J X，et a1．．M i—cro flow cytometer with 3-D focusing for cel／parti—cle detection EJ3．Journal of Functional Materialsand Devices，2008，14(2)：436—440．(in Chinese)[7] ANTHONY T．Design of a Microfluidic Chip{or Three Dimensional Hydrodynamic Focusingin Cell Cytometry Applications[D]．Concordia U—niversity，2011.

E81 于海霞，粟大超，刘同坤，等．基于微流体技术的组织液透 皮抽 取 装 置 [J]．光 学 精 密工 程 ，2011，19[9][1O][11][12][13][14][15][16][17](3)：651—656.

YU H X，I I D CH ，I IU T K，P “ ．．Interstitia1fluid transdermal extraction too1 based on microflu—idics technology[J]．Opt．Precision Eng．，201 l，19(3)：651—656．(in Chinese)NE13EV0NCAR0NA G，STEPHENSB P J，HE—WI]rTC C J，et a1．．Analysis of bacterial functionby multi—colour fluorescence flow cytometry andsingle cel sorting E J]．J．Microbiol Methods，2000，42(1)：97一l14.

I EE G B，HW EI B H ，HUANG G R．Microma—chined prefo—cused M ×N flow switch for continu—OUS sample injection[J]．J．Micromech Micro—eng，2001，l1(6)：654～661.

LIN C H，LEE G B．Micromachined flow cytome—ters with embedded etched optic fibers for opticaldetection[J]．J．Micromech Microeng，2003，13(3)：447-453.

FU I M ，YANG R J，I IN C H， 口Z．．Eleetrok—ineticaly driven micro flow eytometers with inte—gra ted fiber optics for on—line cell／particle detec—tion E J]．Ana1．Chim．Acta，2004，507(1)：163—169.

YANG S Y，HSIUNG S K ，HUNG Y C， 口Z．.

A ,：el counting／sorting system incorporated with amierofabricated flow cytometer chip[J]．Measure—ment Science and Technology，2006，17(7)：2001—20(39.

SH[A0 G CH ，W ANG W J．Design，fabrication，and test of an on—chip micro flow cytometer withintegrated out—of—plane microlenses[J]．MicrosystTechno1．，2O1O，16(8—9)：1569—1576.

SA T0 H ，YAGYU D，IT0 S，et a1．．Improvedinclined multi—lithography using water as exposuremedium and its 3D mixing microchannel applica—tion[J]． Sensors and Actuators A：Physical，20,06，128(1)：183—190.

夏飞．PDMS微流控芯片的制备工艺研究[D]．南京 ：南京理工大学 ，2010.

XIA F．Studies 0n the Fabrication Technology ofPDMS Microfluidic Chips[D]．Nanjing：NanjingUniversity of Science＆ Technology，2010.

刘文亮．具有 细胞 计数功 能的光微 流控 芯片制备工艺研究[D]．武汉：华中科技大学，2009.

I I U W L．Studies on the Fabrication Technologyof opto—Microfluidic Chip with the Function oJCell Count[D]．wuhan：Huazhong University of23l 6 光学 精密工程 第21卷Science and Fechnology，2009． [1 93[18] GIq’I IN I ．SCHUI ZE P，BEI DER D．Rapidreplication of master structures by double castingwith PDMS[J]．j ab 071 n( ip，2009(9)：3000 3002.

作者简介 ：杨潞霞(1 979一)，女 ，山西阳城人 ，博士研究生 ，讲师，2002年 于太原 理丁大学获得学士 学 位 ，2008年于 山西 大 学 获得硕士 学位 ，主要 从 事 微纳 技 术 与仪器 、微 流控 片 和微 光 学 器件 的制作与测试 。E—mail：ylxfyz328### 1 63．corn郝晓剑 (1985一)，男 ，山西 吕梁人 ，硕 士研究生 ，主要 从事 微 电 子 和微 流 体方面研究 。E—mail：hxjhxq###qq．corn王春水 (1988一)，男 ，河北保定人 ，硕士研究 生．主要 从事 微 电 子 和微 流 体 方面的研 究。E—mail：wangchunshui一1 23### 126．cornTAN H Y，I KE W K ，NGUYEN N T． A relia—ble method for bonding p0lydin1ethy1siloxane(PDMS)tO polymethylmethacrylate(PMMA)andits application in micropumps[J3．Sensors and A(’一tuators B ：Chemi~、“ ，2O10，1 51(1)：1 33—1 39.

张斌珍(1 974一 )。男 ，山西岚 县 人，博士后 ，教 授 ，硕 士生 导 师 ，主 要从 事恶劣环境动态测试 理论 与技术 在航空航天领域中的应用 。包括数据记录仪 、自动测试平 台和传感 器方 面的研 究。E—mail：zhangbinzhen###nuc．edu．cn王万军(1957一)，男 ，陕西省渭南人 ，博士 ，终 身教授 ．博 士 生 导 师，1982年 毕业于西 安 交通 大 学 机械 丁 程 系 ，1 989年于美国德克 萨斯(奥斯 汀)大学 获博士学位 ，美 同路 易 斯安 那 州立 大 学机械T程 系终 身正 教 授 ，主 要从 事 微 纳米机 电 系统 (微 纳 米 加 T技 术 ，微 光学 ，微 流体 ，微 生物 医学系统 等 )、微 制造技术(紫外光刻技 术 )和微 传感 器技术方面的研究。E—mail：wangwanjun###nuc．edt1．cn