测厚仪的正确使用

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测量不确定度M l(AR1)u l(AR2)1×10而且 r(AR1，△ 2)1但由于R。与R 的指数P。与P 分别为 1与 -l。这两部分分量的合成结果为零，剩下的是 与 ：测量过程中的随机效应导致 的分量、相对重复性标准偏差，设分别均为2×10-，则：/Z。rel(Y)-42 X2 X 10由于Rl R2，y 100%，得(Y)/2 X2 X 10UNCIRTAINTY OF MEASUREMENT如果估计r(R。，R )0.5，在 P 与P：分别为 1与- 1的情况下，得：： l(AR) 2 l(△ )u l(AR2) 1(AR1)· l(△R：) M2l(AR1)M2 l(AR2)(1×10- )这个分量相对于随机效应导致的分 ×2×10～ 2.8×10 I4较小而可忽略不计。因而，评定的 (Y)以及 (Y)与上述 r1的结果相同。

编辑 ：薛 敏]◇实践 -经验◇随着科学技术的发展，测厚仪越来越广泛地应用到科研和生产过程中。测厚仪示值是否准确可靠，关系到产品的质量。但在校准或使用过程中的微小疏忽，可能会导致校准结果的不准确或者测量结果出现异常。针对这些问题，文章总结了几则经验 ，与大家商榷。

1 基座异常引起的校准或测量结果不准确(1)有些仪器在测量过程中出现示值变化很大、稳定性很差、显示失真，此时可以先检查基座，如有锈蚀，采用适当的方法除去锈蚀后-般可使示值恢复正常。因为测厚仪的基座大都为金属材质，如果在使用过程中维护不当，基座表面容易产生锈蚀，虽然不是很大的问题，却会导致错误 的测量结果。

表 1 同-标准片在不同基座测量结果数据表 m· 38·测 厚 仪 的 正 确 使 用 (2)基座材质和制造工艺较差 ，也会造成示值误差较大。例如：使用兰泰仪器生产的 CM-8820型涂层测厚仪，在较好和较差基座上测量同-标准片，测量结果如表 1所示。

由此可见在使用测厚仪时应尽量选择较厚 、没有锈蚀、且表面加工工艺和材质较好的基座。

2 校准片的使用不当引起的示值不准确(1)使用校准片校准测厚仪时，校准片选取的不合适容易引起较大的示值误差。用时代集团生产的TI260和上海华阳生产的 HCC-24型测厚仪测量厚度 101.Lm左右的同-工件 ，选用 20 m校准片校准后，测量工件时示值分别约为 l2 m和 6 m，两台测厚仪测得值都与工件厚度实际值相差较大。如果选用11.5 m的校准片校准后，测量工件时示值分别约为 10 m和9txm，两台仪器测得值就都与工件厚度的实际值比较接近。因此实际测量时应尽量选用与被测件厚度值接近的校准片。

(2)在仪器校准过程或使用仪器进行测量时，由于标准片的厚度不均匀，不同位置厚度不同，会引起-定的测量误差。如德国生产的 QuaNix 7500型测厚仪自身配置两块金属基片，由于基片厚度较薄容易产生变形，导致测厚仪对零及校准各尺寸段示值误差时，示值稳定性较差。如果换用较好的基座再次测量时，示值稳定性就会较好，示值误差也会减校测厚仪检定规程中规定校准片的实际厚度取中心点的厚度值，所以在测厚仪校准和实际测量过程中测量点应选在校准片或标准片中心处 ，且尽量在同-位置。

3 接触不良引起的示值显示异常测厚仪在使用过程中偶尔显示屏会显示异常，没有数值。此时可先检查连线，将测头与机身的连线充分接触，-般情况下可使测厚仪显示恢复正常。因为测厚仪的频繁使用，使连线与测头连接处出现松动或断开导致接触不 良，所以在测量前准备过程中应使所有连线充分接触。

4 结论在校准测厚仪或者使用测厚仪时，只有选择较好的基座和合适的标准片，并且能够正确使用仪器 (标准片)时，才能够保证校准或测量结果准确可靠。

安徽省长江计量所赵淑君 严 军 曾汉平Industrial Measurement 2013 VO1.23 No.1