惯性技术之窗： 微型惯性装置研发溯源 微机电系统的发展

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1987年，美国加州大学伯克利分校的研究人员，在集成电路工艺的基础上，研制成功世界上第一台静电微马达。这种创新的微马达初步显示了硅微加工工艺制造微小可动结构，和与集成电路兼容的能力。1988年又出现了两篇有关微机电系统发展的著名文章。一篇是W?S?N?特里默（W?S?N?Trimmer）的“微机器人和微机械系统”，讨论当尺寸进入微范畴后与宏观世界不同的物理现象的变化，

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惯性技术之窗： 微型惯性装置研发溯源 微机电系统的发展。