微细加工技术的应用和趋势

随着微纳米技术的不断发展，以本身形状尺寸微序操作尺度极小为特征的微机械 已成为人们在微观领域认识和改造客观世界的-种高新技术。微机械由于具有能够在狭姓间内进行作业，而又不扰乱工作环境和对象的特点，在航空航天，精密仪器 ，生物医学等领域有着广阔的应用潜力，且是实现纳米技术 (Nan0technology) 的重要环节，因而受到人们的高度重视，被列为21世纪关键技术之首。

1.微机械的特征微机械 在美 国常称为微 型机 电系统；在 日本称作微机器；而在欧洲则称作微系统。

微机械按其尺寸特征可以分为1-10mm的微小型机械，lnm-lmm的微机械，以及lnm-lmm的纳米机械。而制造微机械常采用的微细加工又可 以进-步分为微米级微细加工(micro-fabricat ion)，亚微米级微细加工 (sub-micro-fabrication)和纳米级微细加工(nano-fabrication)等 。概括起来，微机械具有 以下几个基本特点：i.1体积孝精度高、重量轻。其体积可小至亚微米以下，尺寸精度达纳米级，重量可轻至纳克。

1.2 性能稳定、可靠性高。由于微机械的体积甚小，几乎不受热膨涨，噪声和挠曲等因素影响，具有较高的抗干扰性，可在较差的环境下进行稳定的工作。

1.3 能耗低 、灵敏性和工作效率高。微机械所消耗的能量远小于传统机械的十分之-，但却能以十倍 以上的速度来完成同样 的工作 ，如5mmX 5mm×0.7mm 的微型泵的流速是比其体积大得多的小型泵的1000倍 ，而