硬脆材料双面研磨抛光机的设计（全套资料含CAD图纸）

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硬脆材料双面研磨抛光机的设计（全套资料含CAD图纸）
1.1 硬脆材料的-些简介
硬脆材料例如陶瓷、白宝石单晶、微晶玻璃等以优良特性得到广泛的应用。微晶玻璃用于天文望远镜、光学透镜、火箭和卫星的结构材料等，而且同时可以作标准米尺；白宝石因为其良好的透光性和耐磨性等特点用于激光器的反射镜和窗口、异质外延生长的半导体材料或金属材料的基片等。对硬脆材料进行超精密加工方法的研究，将其进-步扩大应用范围并且提高其使用性能。
由于微晶玻璃中无数微小品粒的存在、白宝石硬度高，大都认为很难得到超光滑高平面度的表面。通常的光学抛光机都是动摆式的，即工件相对于磨盘既转动，又沿-定的弧线摆动：工件在抛光的同时也不断地进行修整抛光模。但是，当抛光参数设定时，工件和抛光模的那个面形始终处于非收敛的变化中，即面形朝凹或凸的方向单调改变，不断检查面形，修改抛光参数，对操作员的技术水平要求很高。我们-般使用中国航空精密机械研究所研制的超精密研磨机CJY-500进行实验。其上下主轴均为液体静压主轴，并