CFD-ACE为半导体制造装备和过程设计提供软件解决方案

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为半导体制造装备和过程设计提供软件解决方案
CFD-ACE为半导体产品制造提供显著的用户收益：
z 容易使用：让你很快提高设计速度和生产效率，从而减少产品上市时间，缩短产品
设计周期，降低成本。
z 集成了多种物理模型：提供精确的针对半导体装备制造和加工的环境，有助于产品
获得或容易扩展至不断更新的先进技术(300mm，65nm)
z 丰富的电容分压器和等离子体模型： 将提高生产效率， 为-致性优化开辟-条捷径，
使你能看见反应堆内部的真实物理现象
z 强大的特性进展功能：提高产量，提高生产率，通过简单分析企业生产过程的处理
结果，使你确定所需即为所造
z 电镀模型：在已有设备的基础上提高装备设计，或者提高金属（例如铜）沉积过程
z 稳定，可靠：我们的产品由世界上最大的也是最全面的商业计算流体力学软件供应
商提供，将不断为你提供当今最前沿的 CFD 技术和设计资源，为你解决具体化的
问题
反应器模型：
为了优化反应器设计， 需要全面彻底地了解反应器运行时所涉及到的各种物理和化学现
象，并搞清楚它们之间是如何相互影响的。CFD-ACE允许用户建立实际工程所需要的、体
现不同类型反应器特点的复杂的多相物理模型， 使用户可以全面了解反应器的运行过程以及
这些模型参数改变时影响反应器设计效率的方式。
化学蒸汽沉积（CVD）与蚀刻
CFD-ACE针对实际的 CVD 反应器模型优化设计提供了涉及流体、热传递、辐射、化