对曲面非接触测量技术的浅讨

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对曲面非接触测量技术的浅讨

摘要：非接触测量技术具有高响应、高分辨力、受环境电磁场影响孝工作距离大、测量精度高等特点.在测量-些特殊工件时具有不可替代的作用。非接触测量技术在改善测量精度的影响凼素有待提高.使其能更为广泛地应用。
关键词：非接触测量；曲面：激光测头；测量机

1激光测头原理分析
如图1所示.激光测头是采用激光点光源作为测量工具。其光电位敏元件PSD作为位置探测器。安装在缩束透镜组后的半导体激光器LD发出的光束经其缩聚后.再经过-光阑形成-束直径和发射角很小的发射光束投射在被测物表面上，这样便形成-光斑的漫反射光又由接收透镜收集.成像于光敏器件PSD光敏面上。光敏元件工作原理图如图2。
PSD为具有PIN三层结构的平板半导体硅片。在硅板的底层表面上以胶合方式制成二片均匀的P和N电阻层，在P和N电阻层之问注入离子而产生I层，即本征层。表面层P为感光面。在其两边各有-信号输入电极。底层的公共电极是用与加反偏电压。当光点入射到PSD表面时.由于横向电势的存在.产生光生电流i0光生电流就流向两个输出电极。从而在两个输出电极