ASM142氦检漏仪操作规程

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ASM142氦检漏仪操作规程、运行前检查
1、清洁检漏仪及其周围的卫生。
2、检查机械泵油窗，看油层是否位于最大值和最小至之间，如果不是，添加油，直到满足要求。
3、检查进气口是否与测试设备连接并紧固好。
4、检查喷枪是否与氦气源连接好。
5、检查电源线是否连接好。
二、操作程序
1、将检漏仪左侧下方的电源开关拨到1”，即打开电源∝制面板指示灯闪烁，分子泵启动，系统进行自检。当自检完成时，测试循环准备就绪，可以进行检测。这时伴有声音提示detector ready for cycle”且在LCD显示：