微型机械加工技术发展现状分析

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微型机械加工技术发展概况及分析

-、 微型机械加工技术概念及介绍
a) 微型机械加工技术是集微型机构，微型压力传感器，执行器和电源等与-体的-体化的微型器件或系统，是制作微型机械和微型装置的微细加工技术。
b) 微机械是80年代后期发展起来的-门新兴学科，随着大规模集成电路中微细加工技术和超精密加工技术的发展，微机械近几年来发展很快，部分已进入实用和商品化阶段.微机械体积孝耗能低，能方便地进行精细操作，其主要应用领域有医疗、生物工程、信息、航空航天、半导体工业、军事、汽车领域等，它已给国民经济、人民生活和国防、军事等带来了深远的影响，被列为21世纪关键技术之首，因此受到世界各国政府的高度重视。
二、 特点
a) 体积孝精度高、重量轻。其体积可达亚微米以下，尺寸精度达纳米级，重量可至纳克。已经制出了直径细如发丝的齿轮、能开动的3mm大小的汽车和花生米大的飞机。最近有资料表明，科学家们已能在5平方毫米内放置1000台微型发动机。
b) 性能稳定、可靠性高。由于微机械的体积小，几乎不受热膨胀、噪声、挠曲等因素影响，具有较高的抗干扰性，可在较差的环境下进行稳定的工作。