全自动智能化计算机控制系统在真空离子镀膜机中的应用

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281 概述全自动计算机控制真空离子镀膜机是-种物理气相沉积的真空等离子镀膜设备.即在真空泵的抽气作用下.将真空室内的大气抽至某-真空状态下，通过注入不同比例的气体 ，采用多煌磁控溅射离子镀膜工艺∩实现在不锈钢、玻璃、陶瓷及其他材料表面镀覆TiN及其他装饰膜层。从而改善装饰物的耐磨、耐腐蚀及达到装饰的效果。

2 系统组成全自动计算机控制真空离子镀膜机主要由以下五部分组成。

(1)真空系统1)真空室：桶体、转架、内衬、外蒙皮、底座、该板等组成：2)材质：主体部分均采用优质 1 Crl 8Ni9Ti不锈钢 ：3)真空机组：高阀、扩散泵机组、波纹管等：4)机械泵：2X系列机械泵、罗茨泵等；5)阀门：电磁阀、挡板阀等。

(2)控制系统1)真空显示控制：系统配置双热偶真空计及真空规管用于实时检测工作时的真空度：2)气体流量控制 ：系统配置四路由质量流量计、控制器以及相应的阀门、管道组成的供气系统，向真空室提供发应气体和辅助气体 ：3)加热温度控制：系统配置不锈钢加热器及温控器来加快除气.提高生产效率和工件温度，增加膜层附着能力：4)集成控制：系统配置工业控制计算机和可编程逻辑控制器 (PLC)实时控制系统的工艺过程控制：5)转架控制：变频调速控制。

研讨园地 I Field of Discussion(3)镀膜系统1)蒸发源 ：全套蒸发源系统及配件、钛块等 ：2)弧电源：高效逆变弧电源。

(4)电源系统1)偏压电源：IGBT逆变轰偏电源；2)溅射电源：高效逆变溅射电源。

(5)冷却水系统冷却水系统由蒸发离化源冷却水路、镀膜室壁和门冷却水路、真空系统冷却水路三部分组成.其中蒸发离化源冷却水路设有相应的水压继电器 .断水时发出报警信号 以保证设备的安全运行。

3 系统实现原理计算机控制真空离子镀膜机系统由-体化触摸屏计算机、可编程逻辑控制器 (PLC)以及网络接El组成。-体化触摸屏计算机安装有 Win-dows XP Professional操作系统、Microsoft SQLServer数据库管理系统、组态王运行版软件以及自主开发的计算机控制软件系统组成。实现自动真空室调节稀有气体流量、各种泵和阀的逻辑控制功能、现场工艺流程监控、电弧电源显示与设置、溅射电源显示与设置、偏压电源显示与设置、工艺参数表的显示与设置、实时报警、历史报警、实时曲线以及历史曲线等功能。见图1。

图 1 系统实现原理图触摸屏-体机和可编程逻辑控制器 (PLC)通过工业以太网进行物理连接 .实现各种设备均连接到可编程逻辑控制器 (PLC)中。

4 系统实现功能全自动计算机控制真空离子镀膜机设备系统由触摸屏-体机、可编程逻辑控制器 (PLC)以及与网络服务器的接El等组成.计算机控制系统与数据库管理系统安装在同-台计算机中.实现真空离子镀膜机中的泵阀机组控制、工艺过程控制、工艺参数控制、弧电源控制、偏压电源控制、溅射电源控制、实时报警、历史报警、实时曲线、历史曲线、真空计控制以及多路稀有气体控制等功能系统功能示意图如图2所示系统功能界面如图 3所示