基于精密空气静压导轨的扭轮传动机构的设计与分析

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Design and Analysis of Twist-roller Transmission based on the Precision Aerostatic GuidewayDENG Mingmin，LONG W ei，WANG Haipeng(Faculty of Mechanical and Electrical Engineering Department，Kunming University of Science and Technology，Kunming 650500，China)Abstract：Based on requirements of accuracy and velocity of aerostatic guideway transmission system，non-level speedcontrolled twist-I oller transmission was designed and its working principle was particularly discussed by friction transmissionl heory.After the strength check and feasibility analysis of the transmission agents，ADAM S was used in kinematics analysisfor the designed transmission agent.Finally，some related conclusions on transmission agentS stationary were got。

Key words：precise aerostatic guideway，twist-roler transmission，analysis of motion simulation作为-种超精密机械中的典型部件--超精密定位工作台为微光刻技术、数控加工、生物技术和纳米表面形貌测量等领域提供了-个能够实现超精密定位和精确运动的载物工作台口 ]。由于空气作为工作介质具有黏性低 、振动小 、热稳定性好 、不易发生爬行且无污染等优点，所以载荷变动小的超精密加工机床和测量机以及精密机械普遍都采用空气静压导轨E 。

目前，国内外学者在精密工作台领域，利用不同的传动方式和导轨托动方式，都达到了很好的定位精度l4 ；但是，在大行程超精密平台设计中，还存在性能指标的先进性单-、整体性能存在缺陷、实用性考虑不足和实验性、专用性太强等问题。本文从 目前国内外超精密工作台存在的问题以及工作台 自身的特点出发，主要探索了通过扭轮摩擦传动 实现空气静压导轨高精度大行程，且可实现无级调速的驱动系统设计方法。