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- GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范 (187.47K)
- GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则 (232.81K)
- GB/T 17866-1999 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则 (874.62K)
- GB 11481-1989 掩模对准曝光机通用技术条件 (579.18K)
- SJ/T 10274-1991 掩模对准曝光机测试方法 (223.85K)
- 点衍射干涉仪小孔掩模制备与检测技术研究 (0.56M)
- SJ/T 11079-1996 掩模对准曝光机通用技术条件 (571.57K)
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