加热功率波动对SAPMAC法生长蓝宝石晶体的影响

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发布时间：2012-09-13

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加热功率波动对SAPMAC法生长蓝宝石晶体的影响

摘要:本文根据温度波在熔体介质中的传播理论，结合SAPMAC法蓝宝石晶体生长工艺特点，研究了由加热功率波动引起的温度波动对晶体生长的影响。研究表明由于氧化铝高温熔体具有较大的热扩散系数，温度波较容易传到
固液界面引起界面温度起伏;界面的温度起伏会使晶体内产生气泡、空腔等缺陷。根据温度波的频率、幅值对氧化铝熔体的传递深度、衰减规律的关系，提出了提高系统热惯性、增加界面熔体包裹层厚度等抑制措施。
关键词:加热功率波动;温度波;蓝宝石;冷心放肩微量提拉法

2温度波
温度起伏(或波动)以有限速率在介质中的传播过程，称为温度波。SAPMAC法生长蓝宝石晶体，加热功率的波动将引起加热温度(加热系统所能提供的坩埚外壁环境温度)的起伏，从而生成温度波。根据实验中观测到的加热功率波动情况，设在短时间τ内加热功率波动引起的加热温度变化可近似地看作阶跃变化，即温度波动ΔT(t)为:

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