泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶的等径控制方法

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泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶的等径控制方法

摘要: 在泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶的过程中，为了获得高质量的晶体，精确等径控制至关重要 本文根据晶体的重量变化率来控制热场，实现晶体等径生长 设计了应用在线整定多项式权值的广义最小方差( )控制方法，并建立了系统模型 该方法的主要思想是根据在线估计的被控对象参数及 的输出，调整多项式的权值，实现炉内的热池制 仿真和实验结果表明该控制方法实现了蓝宝石单晶的精确等径控制，有效地提高了蓝宝石单晶的质量
关键词: 泡生法; 大尺寸蓝宝石单晶; 控制; 等径生长