Y60A单晶炉的热场设计及测试

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Y60A单晶炉的热场设计及测试

摘 要：结合 、 等氧化物晶体生长的工艺条件，在-台包含三温区的晶体生长炉中进行热池制的实验研究，实验结果表明该炉室恒温区内控温精度 ；炉温均匀度。
关键词：热场；三温区；控温精度；炉温均匀度；晶体炉

热翅构设计
该炉的加热元件、保温（炉衬）材料的选择与设计统称为热场设计。其目的在于寻求最佳温度梯度分布，并辅以理想的拉晶工艺，生长出优质的单晶材料。炉体热系统结构如图所示。炉膛由个基本相同的康泰尔”式陶瓷纤维镶嵌的加热元件（加热器）串行排列组成，各加热器间设有隔热屏蔽板，从而形成上、中、下 个温区，负责各温区测温的 个热电偶（ ）分别安装在各加热器中部的、、 点（参见图）。有关炉体的具体结构设计、加热