薄膜电池工艺

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发布时间：2012-10-10

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薄膜电池工艺

目录
硅基薄膜电池
薄膜电池工艺流程介绍
硅基薄膜材料

硅基薄膜材料
目前在硅基薄膜电池生产中，需要用到的硅基薄膜材料大体包括：
光吸收层
多晶硅（poly-Si）薄膜----- 晶粒尺寸um级别，带隙1.1ev
非晶硅锗（a-SiGex :H）薄膜----- 带隙1.1ev-1.7ev可调
非晶硅（a-Si:H) 薄膜----- 无定形硅，带隙1.7ev左右
微晶硅（μc-Si:H ）薄膜----- 晶粒尺寸nm级别，带隙1.1ev
反射层
非晶硅氧（a-SiOx :H）薄膜----- 折射率1.6左右
非晶硅氮（a-SiNx :H）薄膜----- 折射率2.0左右
光电导率、暗电导率、光敏性、吸收系数、
光学带隙、缺陷态密度、晶相比

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