离子注入的优势

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离子注入的优势

我们已知知道怎样通过扩散将杂质掺入圆片（预淀积和再分布）
这个过程受以下限制:
- 不能超过杂质的固浓度
- 较难得到轻微的杂质分布
- 离子注入的优势:
- 可控， 既可以低剂量也可以是高剂量注入
- 注入的深度可以控制.
自从1980年，离子注入工艺已经占主导地位，但是它还是右几个缺点：对衬底有损伤、离子注入的产率受到限制、设备昂贵