三氯氢硅制备系统耐磨球阀选用小结

本资料包含pdf文件1个，下载需要1积分

对三氯氢硅制备系统耐磨球阀密封失效进行分析，对比硼化技术表面硬化与HVOF碳化钨，碳化铬表面硬化技术差异，以及双向密封结构选用优劣性对比，通过生产工况使用实际验证，得出硼化硬密封密闭弹簧预载室球阀选用的正确性。

制备系统，三氯氢硅，球阀，耐磨，表面硬化技术，密封失效，HVOF，密封结构。

三氯氢硅制备系统耐磨球阀选用小结。