子孔径拼接中系统误差的修正方法

子孑L径拼接测量技术 。 是通过提取相邻子孔径重叠区域参考面之间的相对平移和倾斜，并将这些子孔径的参考面统-到某-指定参考面实现面形的拼接i贝0量。在这个过程中，由环境因素造成的干涉仪测量随机误差与子孔径定 位误差等 ，都可以通过平面子孔径优化拼接算 法进行优化 ，并已经取得良好的效果。但是由干涉仪的标准镜面形误差带来的系统误差不能使用现有的各种拼接优化算法解决 ，尤其是在高精度 面形检测 中，当被检面的面形精度与参考面接近甚至优于参考面收稿 日期 ：2013-Ol-21； 修 回 日期 ：2013-03-19基金项 目：国家 自然科学基金(51075322)；陕西侍育厅项 目(12JS048)作者简介 ：吴世霞 (1986-)，女 ，河北石 家庄人 ，硕士研究生 ，主要从 事光学检测工作 。

E-mail：wsx0626###126.corn应用光学 2013，34(4) 吴世霞，等：子孔径拼接中系统误差的修正方法 ·643 ·O.03O.02O.010E2][3][4]图 10 修正后 的拼 接误 差波面 PV0.028 6Fig.1O Residual err。r wave fr。nt after[5]correction。PV 0.028 65 结论本文采用子孔径拼接检测与面形绝对检验相结合的技术来实现大口径平面的高精度测量。与现有技术相 比，其显 著优点在于对测 量过程 中由参考面面形误差引入 的系统误 差进行 了预修正 ，有效提高了拼接测量精度。在本实验中应注意，干涉仪受环境影响 比较 大，因此在测 量过程 中应减少仪器使用环境中温度起伏、气流扰动、空气振动等外界因素对干涉仪精度的影响。在各子孔径区域面形数据获取时，需等干涉条纹稳定后再进行测量 ，且可 以采用 多次测量取平均 的方法来获得高精度的面形信息。实验结果表明，通过这种方法可提高光学平面测量准确 度，有利 于实现高精度的平面面形检测 。