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- GB/T 12964-2018 硅单晶抛光片 (2.55M)
- GB/T 12964-2003 硅单晶抛光片 (215.05K)
- GB/T 30656-2014 碳化硅单晶抛光片 (745.51K)
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- GB/T 29506-2013 300mm 硅单晶抛光片 (582.07K)
- SJ/T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法 (2.32MB)
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- SJ/T 11503-2015 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法 (4.53MB)
- GB/T 5238-2019 锗单晶和锗单晶片 (752.68K)
- JB/T 10439-2004 单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉 (605.33K)
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