TGY30型高压单晶炉机械设计与制造

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TGY30型高压单晶炉机械设计与制造

摘要: 对高压带衬里结构单晶炉的密封与结构设计、主要材料选择以及制造、检验作了简要介绍。
关键词: 单晶炉;设计;制造

1单晶炉工作原理
单晶炉主要结构见图1。工作时将粒晶套管及坩锅杆分别插入单晶炉炉室上、下中心孔，在高真空(真空度113×10- 8MPa)和高压(压力916MPa)的条
件下，做高精度的低速升降及旋转，以使晶体生长均匀。为加快晶体的生长，炉体内还装有石墨加热器，最高温度达1600 ℃。称重系统用于称量生长中的
晶体质量，炉室外部的气路系统向炉内充氩气、抽真空。炉室外部配有激磁线圈，对整体炉室形成磁常
为方便炉盖及炉筒体的装卸，配有提升装置。整个工作过程由计算机控制，而晶体生长过程的监视则由装在窥视镜座上的两个石英柱式镜片和电视监控
系统完成。