传感器论文

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传感器论文半导体单晶硅材料在受到外力作用时，会产生肉眼察觉不到的极微小应变，其原子结构内部的电子能级状态将发生变化，从而导致其电阻率剧烈的变化，由这种材料制成的电阻也随之出现极大变化，这种物理效应称为压阻效应。硅压阻式传感器就是根据半导体材料的压阻效应，在半导体材料的基片上经扩散电阻而制成的.基片可直接作为测量传感元件，扩散电阻在基片内接成电桥形式，当基片受到外力作用而产生形变时，各电阻值将发生变化，电桥就会产生相应的不平衡输出。MPX2100压力传感器是在-片硅基片上采用X型压敏电阻元件，该压敏电阻元件内有-片硅膜应变计.传感器的每-片芯片上都含有-薄膜电阻网络，该电阻网络利用离子注入工艺光刻在硅膜上，极为精确.传感器内还有热敏电阻，能自动进行温度补偿.这种设计方法避免了采用惠斯登电桥结构时，四个桥臂电阻不匹配而引起的测量误差大、零点漂移较大、不易调整等缺点。MPX2100压力传感器的精度高、重复性好，它可以在0～85℃的温度范围内工作，测量的压力差动范围为0～100 kPa，线性度为±0.25%，满量程输出电压为40 mV，响应时间小于1 ms;供电电源可以使用恒压源，也可以使用恒流源.MPX2100还具有良好的介质兼容性，可以直接对干燥无腐蚀性气量。
进气支气管绝对压力传感器（Manifold Absolutely Pressure Sensor ，MAP）也称进气压力传感器用于D型汽油喷射系统，它在汽油喷射系统中所起的作用是测量进气量从而决定喷油量▲气支气管绝对压力传感器根据发动机的负荷状态测出进气歧管内绝对压力(真空度)的变化，并转换成电压信号，与转速信号-起输送到发动机电控单元(ECU)，作为确定喷油器基本喷油量的依据.在当今发动机电子控制系统中，应用最为广泛的是半导体压敏电阻式进气支气管压力传感器，下面介绍其结构原理及工作原理。
半导体压敏电阻式进气支气管绝对压力传感器，其压力转换元件是利用半导体的压阻效应制成的硅膜片。硅膜片的-面是真空室，另-面