超精密测量技术的应用进展

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摘要：超精密加工的应用日益广泛，其加工精度和表面质量要求都很高，需要相应的超精密检测手段予以保证。激光干涉仪、光栅、X射线干涉仪、扫描探针显微术、电容电感传感器及F-P干涉仪等可以实现纳米测量并已经商品化；电容传感器、X射线干涉仪、F―P干涉仪等少数仪器分辨率可达或接近皮米级，但因其测量范围通常较小，在应用中受一定限制。文中针对几种实际应用比较成熟的激光干涉仪，就其应用领域、技术参数、功能特点等予以介绍。

纳米测量，激光干涉仪。

超精密测量技术的应用进展。